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產(chǎn)品名稱：HMDS涂膠烘箱(真空)

產(chǎn)品型號：BD/HMDS-6090

更新時(shí)間：2025-09-03

產(chǎn)品特點(diǎn)：HMDS真空涂膠烘箱主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

BD/HMDS-6090HMDS涂膠烘箱(真空)的詳細(xì)資料：

    一、HMDS真空涂膠烘箱規(guī)格：

    型號：BD/HMDS-6090內(nèi)形尺寸：450×450×450

    型號：BD/HMDS-6210內(nèi)形尺寸：560×640×600

真空涂膠烘箱

    二、技術(shù)參數(shù)：

    1、控溫范圍：RT+10～250℃

    2、溫度分辨率：0.1℃

    3、溫度波動度：±1℃

    4、達(dá)到真空度：小于133Pa

    5、真空度：100Pa～100000Pa

    6、定時(shí)范圍：1～9999min

    7、工作室材料：316L

    8、樣品架：2塊、3塊

    9、真空泵：4L/S

    10、電源電壓：220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制

    11、總功率：3000W、4500W

    三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

    1、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑。內(nèi)膽、樣品機(jī)、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防dan雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

    2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。

    3、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

    四、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程：

    1、首先確定烘箱工作溫度；

    2、預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)?，充到達(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分;

    3、再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng);

    4、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過程。

    五、控制系統(tǒng)：

    1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏，三菱PLC控制器；

    2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器，控溫精確可靠；

    六、保護(hù)系統(tǒng)：

    1、漏電保護(hù)；

    2、超溫保護(hù)；

    3、缺液保護(hù)；

    七、設(shè)備使用條件：

    1、環(huán)境溫度：5℃～＋28℃（24小時(shí)內(nèi)平均溫度≤28℃）

    2、環(huán)境濕度：≤85%R.H

    3、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風(fēng)良好,機(jī)器放置前后左右各80公分不可放置東西;

    八、HMDS真空涂膠烘箱服務(wù)承諾：

    保修十八個(gè)月，免費(fèi)送貨上門,在對該設(shè)備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場對相關(guān)技術(shù)人員免費(fèi)做相應(yīng)的操作培訓(xùn),人數(shù)不限。

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